“深圳四海通光电SHTON”的气浮隔振系列光学平台采用双气室隔振系统设计，可保证竖直和水平固有频率均保持在2 Hz范围内。台面由磁性不锈钢上面板、密封杯、蜂窝桁架以及底板钢共四层组成。磁性不锈钢上面板经过精密打磨，保证平台台面平面度<50 μm/m2，粗糙度<0.8 μm。上面板下密封杯结构可以有效阻止污染物进入蜂窝结构，并阻隔蜂窝桁架内部气流。台面下部为气动隔振器系统，能够有效减弱平台固有频率以上范围的振动。隔振系统支架底部带有脚轮，方便用户移动光学平台。

气浮隔振系列光学平台标配静音空气压缩机，可选台面厚度为100 mm、200 mm、300 mm，带磁不锈钢顶板的厚度为5 mm，表面带有M6螺纹孔，间距和孔深均为25 mm。“深圳四海通光电SHTON”标准气浮隔振光学平台覆盖900 mm × 600 mm到4000 mm × 1500 mm尺寸的光学平台。如需要其他特殊尺寸定制，请联系客服。

800 mm

气浮隔振

≤2 Hz

≤0.05 mm/m2

0.8 μm